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Aufbau eines Detektorteleskops fr ERDA-Messungen und erste Anwendungen auf dnne Schichten
Adrian Gohla
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Diplomarbeit aus dem Jahr 1994 im Fachbereich Physik - Experimentalphysik, Note: 1,5, Rheinische Friedrich-Wilhelms-Universitt Bonn (unbekannt, Strahlen- und Kernphysik), Sprache: Deutsch, Abstract: Inhaltsangabe:Problemstellung:
In der vorliegenden Arbeit wird der Aufbau einer ERDA-Detektoranlage zur Bestimmung tiefenaufgelster Konzentrationsprofile dnner Schichten beschrieben. Die Anlage wurde in zahlreichen Messungen mit Schwerionenstrahlen und Spaltfragmentquellen getestet.
ERDA (Elastic Recoil Detection Analysis) ist eine kernphysikalische Untersuchungsmethode, die auf der elastischen Streuung schwerer Ionen mit den Atomen einer dnnen Festkrperprobe basiert. Die Information ber die Tiefenprofilverteilung im Target wird mit ERDA durch die Spektroskopie der aus der Probe ausgestoenen Ionen gewonnen. Eine Auflsung von atomaren Monolagen ist dabei prinzipiell mglich.
Gang der Untersuchung:
Der erste Teil der Arbeit befasst sich mit der Motivation fr das ausgewhlte Thema.
Im zweiten Teil der Arbeit werden die theoretischen Grundlagen der ERDA-Analyse formuliert. Im einzelnen wird auf die mit dieser Methode realisierbare Isotopentrennung und Bestimmung der Tiefenkonzentrationsprofile eingegangen. Der dritte Teil der Arbeit befasst sich mit dem Aufbau und der Funktionsweise eines DE-E-Detektorteleskops. Neben der Energiemessung ermglicht ein Teleskop eine kernladungsspezifische Elementtrennung. Der fnfte Teil der Arbeit zeigt den Aufbau einer ERDA-Messapparatur am Tandembeschleuniger in Kln. Anschlieend werden erste Experimente prsentiert.
ERDA stellt eine zuverlssige und auch fr industrielle Anwendungen sehr interessante Methode dar. Von Korrosionsforschung bis zur Chipherstellung finden sich Einsatzgebiete von ERDA. Der Zugang zu einem Ionenbeschleuniger kann durch eine Kooperation mit ausgewhlten Universitten, die ber Beschleunigerlabors verfgen, gewhrleistet werden.
Inhaltsverzeichnis:Inhaltsverzeichnis:
1.Einleitung5
2.Theoretische For
In der vorliegenden Arbeit wird der Aufbau einer ERDA-Detektoranlage zur Bestimmung tiefenaufgelster Konzentrationsprofile dnner Schichten beschrieben. Die Anlage wurde in zahlreichen Messungen mit Schwerionenstrahlen und Spaltfragmentquellen getestet.
ERDA (Elastic Recoil Detection Analysis) ist eine kernphysikalische Untersuchungsmethode, die auf der elastischen Streuung schwerer Ionen mit den Atomen einer dnnen Festkrperprobe basiert. Die Information ber die Tiefenprofilverteilung im Target wird mit ERDA durch die Spektroskopie der aus der Probe ausgestoenen Ionen gewonnen. Eine Auflsung von atomaren Monolagen ist dabei prinzipiell mglich.
Gang der Untersuchung:
Der erste Teil der Arbeit befasst sich mit der Motivation fr das ausgewhlte Thema.
Im zweiten Teil der Arbeit werden die theoretischen Grundlagen der ERDA-Analyse formuliert. Im einzelnen wird auf die mit dieser Methode realisierbare Isotopentrennung und Bestimmung der Tiefenkonzentrationsprofile eingegangen. Der dritte Teil der Arbeit befasst sich mit dem Aufbau und der Funktionsweise eines DE-E-Detektorteleskops. Neben der Energiemessung ermglicht ein Teleskop eine kernladungsspezifische Elementtrennung. Der fnfte Teil der Arbeit zeigt den Aufbau einer ERDA-Messapparatur am Tandembeschleuniger in Kln. Anschlieend werden erste Experimente prsentiert.
ERDA stellt eine zuverlssige und auch fr industrielle Anwendungen sehr interessante Methode dar. Von Korrosionsforschung bis zur Chipherstellung finden sich Einsatzgebiete von ERDA. Der Zugang zu einem Ionenbeschleuniger kann durch eine Kooperation mit ausgewhlten Universitten, die ber Beschleunigerlabors verfgen, gewhrleistet werden.
Inhaltsverzeichnis:Inhaltsverzeichnis:
1.Einleitung5
2.Theoretische For
- Format: Pocket/Paperback
- ISBN: 9783838626376
- Språk: Tyska
- Antal sidor: 88
- Utgivningsdatum: 2000-09-01
- Förlag: Diplom.de