Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflachenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen

Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Lppen und Elektropolieren zur Oberflchenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenitt untersucht. Des Weiteren wurde auf die Problematik der Rauheitsmessung der in ihrer Messlnge begrenzten Mikrostrukturen eingegangen und eine Lsung mittels der spektralen Leistungsdichte erarbeitet.