2759:-
Tillfälligt slut online – klicka på "Bevaka" för att få ett mejl så fort varan går att köpa igen.
Aiming to bridge the gap between device process engineers and defect physicists, this work describes device processing problems and the understanding of these defects based on defect physics. It covers defects and their behaviours in epitaxial growth, plasma processing and other processes.
- Format: Inbunden
- ISBN: 9789056997144
- Språk: Engelska
- Antal sidor: 426
- Utgivningsdatum: 2001-11-01
- Förlag: Gordon & Breach Science Publishers Ltd