Efficacit du dpt orthogonal pour les diodes lectroluminescentes organiques

Les dispositifs semi-conducteurs organiques couche mince, tels que les diodes lectroluminescentes organiques (OLED) et les photovoltaques organiques, peuvent tre fabriqus de diffrentes manires, notamment par dpt physique en phase vapeur (PVD). Le PVD est un procd permettant de dposer des couches minces d'paisseur et de composition de matriaux prcisment contrles sur un substrat dans un systme sous vide. Des creusets chauffs par rsistance, appels bateaux, sont couramment utiliss pour chauffer les matriaux sources une temprature suffisante pour provoquer la vaporisation ou la sublimation. Ces modles de bateaux contiennent gnralement une seule ouverture qui produit un flux de vapeur conique pour revtir la fois un substrat et un capteur d'paisseur et de vitesse situ proximit. Dans cette tude, un nouveau modle de bateau intgrant un double flux de vapeur, o un flux de vapeur est dirig vers le capteur et l'autre vers le substrat dans une orientation orthogonale, a t tudi. Cette conception est destine fournir des caractristiques particulirement utiles pour la fabrication de films minces organiques de compositions complexes impliquant de multiples composants. Il est galement conu pour rduire les dchets de matriaux en raccourcissant la distance entre la source et le substrat.