Effizienter Betrieb von Xenon-Excimer-Entladungen bei hoher Leistungsdichte

In der vorliegenden Arbeit wurde der Betrieb dielektrisch behinderte Entladung bei hoher Leistungsdichte und hoher Effizienz untersucht. Hierbei wurde eine Abhngigkeit der homogenen Entladung von der Stromdichte festgestellt. Die ntige Anregungsform wurde in einem resonanten Puls-Betriebsgert verwirklicht, welches Wirkungsgrade bis 87 % erreicht. Durch goniometrische Strahlungsflussmessungen im UV wurden die erreichte Leistungsdichte und Plasma-Effizienz bestimmt.