Elektrochemische Messungen an durch PVD-Verfahren erzeugten Oxidschichten

Diplomarbeit aus dem Jahr 1996 im Fachbereich Chemie - Physikalische und Theoretische Chemie, Technische Universitt Dortmund (Unbekannt), Sprache: Deutsch, Abstract: Inhaltsangabe:Problemstellung:
An der Darstellung dnner Schichten bestehend aus (dotiertem) Zinn(IV)-Oxid besteht bereits seit drei Jahrzehnten ein groes Interesse, weil transparente, n-halbleitende Oberflchen hergestellt werden knnen (TCO - transparent conductive oxides).
Reines, stchiometrisches Zinndioxid (SnO2) ist ein Isolator. Ziel der Herstellungsverfahren ist es also, einerseits Schichten mit geringem Sauerstoff-Unterschu zu erzeugen (SnO2-?), die dann Fehlstellen (z. B. Sauerstoffionenleerstellen) als Elektronendonatoren enthalten. Andererseits kann die gewnschte Leitfhigkeit durch Dotierung mit Fremdatomen wie z. B. Sb oder F erreicht werden. W erden Schichten mit Sauerstoff-Defizit in Gegenwart von O2 (z. B. in Luft) ber etwa 600 K erhitzt, werden die o. g. Donatoren durch Oxidation (Einbau von Sauerstoff in die Schicht, z. B. auf Sauerstoffionenleerstellen) vernichtet. Dahingegen sind z. B. Strstellen durch eingebautes Sb(V) bis ber 1 100 K stabil.
Zur Herstellung dnner TCO-Schichten stehen physikalische wie chemische Verfahren zur Verfgung. In dieser Arbeit wird auf die Physical-Vapor-Deposition eingegangen werden. Die meisten Arbeiten, die sich mit dieser Thematik befassen, behandeln die Optimierung von Betriebsparametern bezglich der optischen Transparenz und elektrischen Leitfhigkeit.
TCOs wurden beispielsweise in der Rhrenindustrie angewandt, werden bei der Dnnschichtsolar-Technologie eingesetzt und zur Herstellung nicht vereisender Windschutzscheiben verwendet.
Ein mit Zinndioxid beschichteter Glastrger kann in der analytischen Chemie fr elektrochemischen Untersuchungsmethoden wie Potentiometrie, Amperometrie und Coulometrie, bei denen Redoxvorgnge ablaufen, als Indikatorelektrode dienen. Eine solche Elektrode ist sensitiv fr Mn04-, Ce4+, Cr2O72-, S2O32-, Ti3+, Tl