Entwicklung eines mikromechanischen Strahlablenksystems fr Laser-Projektions-Displays

Diese Dissertation behandelt die Entwicklung eines zweiachsigen vakuum-gekapselten MEMS-Spiegels fr den Einsatz in kompakten Laser-Projektions-Displays. Diese Miniatur-Laser-Projektoren sind u.a. von Bedeutung fr Head-Up-Displays, Armaturenbrett-Displays und neuartige Scheinwerfer-Systeme im Automobil. Darber hinaus eignen sie sich durch ihre geringe Baugre fr die Integration in Konsumer-Produkte wie Smartphones, Tabletts, Datenbrillen und Digitalkameras. Mit einer Scanfrequenz von ber 36 kHz ermglichen die im Rahmen dieser Arbeit entwickelten hermetisch gekapselten 2D-MEMS-Spiegel Laser-Video-Projektion mit HD720 Auflsung. Die MEMS-Spiegel werden kostengnstig zu hunderten parallel auf 200 mm Wafern aus Silizium gefertigt und zeichnen sich neben ihrer extrem geringen Baugre durch eine sehr geringe Leistungsaufnahme aus.