Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al fur Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen

Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt fr ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender Wrmebehandlung bietet die Mglichkeit, Ni-Al Superlegierungen fr Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzbar zu machen. ber LIGA abgeschiedene Ni-Al-Mikrozugprfkrper zeigen in Mikrozug- sowie Mikrokriechversuche eine verbesserte thermische Stabilitt gegen plastische Verformung.