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Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermglichen, welche sich nicht fr monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwndige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch fr grerer Stckzahlen durch bertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedchtnislegierung.
- Format: Pocket/Paperback
- ISBN: 9783866444966
- Språk: Tyska
- Antal sidor: 146
- Utgivningsdatum: 2014-10-16
- Förlag: Karlsruher Institut Fur Technologie