Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication 1

Vetenskap & teknik

Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication

Name: Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication
Price: 1999 SEK
Availability: OutOfStock
Author: P Rai-Choudhury
ISBN: 9780819423795

P Rai-Choudhury

Inbunden

1999:-

Funktionen begränsas av dina webbläsarinställningar (t.ex. privat läge).

Tillfälligt slut online – klicka på "Bevaka" för att få ett mejl så fort varan går att köpa igen.

698 sidor
1997

Part of a compilation of diverse information into a single, two-volume resource just at the moment when researchers are weighing the alternatives to visible light that will be necessary to etch features smaller than 0.13 microns. Volume Two focuses on the process technology and the device applicatio

Författare: P Rai-Choudhury
Format: Inbunden
ISBN: 9780819423795
Språk: Engelska
Antal sidor: 698
Utgivningsdatum: 1997-12-01
Förlag: SPIE Press