Vetenskap & teknik
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Herstellung dunner metallischer Brucken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
Dominik Stoeffler
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In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rckschlsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.
- Format: Pocket/Paperback
- ISBN: 9783866448438
- Språk: Tyska
- Antal sidor: 114
- Utgivningsdatum: 2014-07-29
- Förlag: Karlsruher Institut Fur Technologie