In-situ Visualisierung von Oberflachendeformationen aufgrund von Marangoni-Konvektion wahrend der Filmtrocknung

Bei der Herstellung von modernen Bauteilen, z. B. Displays, werden komplexe Substrate mit z. B. Leiterbahnen und Vorstrukturierungen ganzflchig flssig beschichtet und getrocknet. Die Oberflchen dieser Schichten mssen hufig eine sehr genau spezifizierte Gte besitzen. Daher ist es wichtig, die Entstehung von Oberflchenverformungen zu verhindern. Diese Arbeit stellt die grundlegenden Mechanismen dar und beschreibt die Visualisierungstechnik zur Untersuchung von Oberflchendeformationen aufgrund von Marangoni-Konvektion whrend der Filmtrocknung.