Integrierte Schaltungen

Wohl das aufflligste Charakteristikum der Entwicklung der mo dernen Elektronik ist der kontinuierliche Trend zu einer Mi niaturisierung der Bauelemente und zu einer Integration der Schaltungen in einem einzigen
Halbleiterkristall. Der Einflu der integrierten Schaltungen ist in zunehmendem Ma in nahezu allen Bereichen des wirtschaftlichen Lebens zu spren. Trotz dem ist in deutscher Sprache nur wenig Literatur erhltlich, die als
Einfhrung in das Gebiet der integrierten Schaltungen geeignet wre. Mit dem vorliegenden Skriptum wird versucht, diesem Mangel abzuhelfen. Das Skriptum ist in erster Linie zum Gebrauch neben einer Vor lesung gedacht, die
sich ber zwei Semester in zwei Wochenstun den an Studierende der Elektrotechnik etwa ab dem 6. Semester wendet. Da das Skriptum mglichst wenig Bezug auf weiterfhren de Literatur nimmt, sollte es auch fr diejenigen
geeignet sein, die beruflich an integrierten Schaltungen interessiert sind und ber einige Grundkenntnisse der Festkrperphysik ver fgen. Das Skriptum befat sich vorwiegend mit den technologischen Aspekten der Herstellung
integrierter Schaltungen. Da aber ei ne enge Beziehung zum Schaltungsentwurf besteht, werden auch die Schaltungskonzepte beschrieben, die fr integrierte Schal tungen von besonderer Wichtigkeit sind oder (wie die superinte
grierten Schaltungen, Kap. 4.4) durch sie berhaupt erst reali sierbar werden. Gem seiner berra~enden wirtschaftlichen Be deutung nimmt die Behandlung des Halbleiters Silizium den bei weitem grten Teil des Skriptums
ein. Daneben werden auch In tegrationsformen auf Galliumarsenid und magnetischen Werkstof fen gestreift (Kap. 7), die fr zUknftige Anwendungen gute Aussichten bieten.