Interaction d'Un Faisceau Laser Avec Une Cible Solide

Ce travail porte sur la mise en vidence d'un phnomne thermique responsable de la cration de gouttelettes sur les couches minces dposes par ablation laser. Afin d'tudier les diffrents mcanismes d'ablation de la matire par un laser puls, nous avons mis en uvre trois techniques de diagnostics, l'un consistant mesurer la quantit de matire jecte, le deuxime utilise l'analyse des impacts par un microscope lectronique balayage, et le troisime est bas sur la dynamique du plasma en expansion. Trois matriaux mtalliques (Ti,W et Zr), semi-mtallique (Graphite) et un semi-conducteur (Si) ont t utiliss comme cible. Les rsultats ont montr l'existence de trois rgimes d'ablation, correspondant une vaporation normale, un rgime de chauffage en volume et un rgime d'explosion de phase, pour lequel des seuils en flux laser ont t dtermins. L'analyse des signaux de collecteur d'ions, ont permis d'une part de mettre en vidence, l'existence d'une distribution en nergie multimodale, le claquage optique dans la vapeur, et d'autre part, de corrler ces rsultats obtenus sur la quantit de matire ablate, et les observations au microscope balayage.