bokomslag Micro and Nano Fabrication
Samhälle & debatt

Micro and Nano Fabrication

Hans H Gatzen Volker Saile Jrg Leuthold

Pocket

1299:-

Funktionen begränsas av dina webbläsarinställningar (t.ex. privat läge).

Uppskattad leveranstid 10-16 arbetsdagar

Fri frakt för medlemmar vid köp för minst 249:-

Andra format:

  • 519 sidor
  • 2016
For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.
  • Författare: Hans H Gatzen, Volker Saile, Jrg Leuthold
  • Format: Pocket/Paperback
  • ISBN: 9783662508268
  • Språk: Engelska
  • Antal sidor: 519
  • Utgivningsdatum: 2016-10-06
  • Förlag: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K