Mikromechanik

Mikromechanik behandelt die physikalischen Grundlagen dieser jungen, zukunftstrchtigen Disziplin, ihre Technologie, aufbauend auf der Siliziumtechnologie, und ihre Nutzung in den verschiedensten Anwendungen der Bereiche Sensorik, Aktuatorik und integrierte Optoelektronik. Das Buch ist unentbehrlich fr jeden, der sich intensiv mit der Mikromechanik befassen will; fr den Studierenden ebenso wie fr den Ingenieur in der Praxis oder den interessierten Laien.