bokomslag Polysilizium-Heaterstrukturen fur den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlassigkeitstests auf Waferebene
Vetenskap & teknik

Polysilizium-Heaterstrukturen fur den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlassigkeitstests auf Waferebene

David Weinberger

Pocket

1019:-

Funktionen begränsas av dina webbläsarinställningar (t.ex. privat läge).

Uppskattad leveranstid 5-10 arbetsdagar

Fri frakt för medlemmar vid köp för minst 249:-

  • 78 sidor
  • 2012
Bachelorarbeit aus dem Jahr 2011 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1, Hochschule Mittweida (FH) (Elektro- und Informationstechnik), Sprache: Deutsch, Abstract: Diese Bachelorarbeit soll die Grundlage fr hochbeschleunigte Zuverlssigkeitstests auf Waferebene unter Verwendung von In-Situ-Heizelementen aus polykristallinem Silizium bilden. Nach einer Einfhrung in die Zuverlssigkeitstheorie wird eine Auswahl an Zuverlssigkeitstest vorgestellt. Diese sind momentan, durch den Einsatz von Hot-Chuck's, noch recht zeitaufwndig und verlangen daher nach einer alternativen Wrmequelle. Der in dieser Arbeit vorgestellte Ausweg beschreibt einen Polysilizium-Widerstand direkt in der zu beheizenden Struktur. Weiterhin wird die Wrmeausbreitung durch thermische Simulationen dargestellt. Am Ende dieser Arbeit wird noch die mgliche Temperaturmessung an solchen Teststrukturen vorgestellt.
  • Författare: David Weinberger
  • Format: Pocket/Paperback
  • ISBN: 9783656276708
  • Språk: Tyska
  • Antal sidor: 78
  • Utgivningsdatum: 2012-09-23
  • Förlag: Grin Verlag