Propiedades de pelculas delgadas de IZO impurificado con nitrgeno

En el presente trabajo, se hace la caracterizacin ptica y elctrica con la tcnica de Elipsometra Espectral, de pelculas delgadas de IZO impurificadas con nitrgeno. Estas pelculas pertenecen a la familia de xidos conductores transparentes (TCO's), en donde una de sus cualidades es que son materiales con alta transparencia en las regiones de infrarrojo cercano, visible y ultravioleta; teniendo las caractersticas de baja resistividad elctrica, buena movilidad y alta concentracin de portadores de carga libres. Para depositar las pelculas de xido de zinc e indio (IZO) dopado con nitrgeno, se utiliz la tcnica de pulverizacin catdica reactiva asistida por radiofrecuencia. Esta tcnica es altamente reproducible y tiene un alto control en la incorporacin de las impurezas.