Propiedades pticas de silicio poroso nanoestructurado

Se presentan estudios de propiedades pticas y estructurales de pelculas delgadas simples y multicapas complejas de silicio poroso nanoestructurado, para aplicaciones directas en el rea del sensado de especies qumicas y biolgicas. Se presentan mtodos de caracterizacin ptica de las pelculas fabricadas, basados en los ajustes de mediciones de espectros de reflectancia y transmitancia, empleando teoras elementales del electromagnetismo. Se fabricaron sensores fotnicos con multicapas de silicio poroso cuyas respuestas pticas optimizan el sistema de sensado, otorgando al dispositivo completo una alta sensibildad, con tiempos de respuestas en el orden de los milisegundos. Dentro del campo de la optofludica, se expone una tcnica de medicin ptica para interpretar la dinmica de llenado de diferentes lquidos dentro de pelculas de silicio poroso, que tiene la flexibilidad para funcionar como sensor nanofludico, y adems, la capacidad de caracterizar la morfologa de las matrices porosas. Se describe un estudio de la estabilizacin de pelculas de silicio poroso mediante el anlisis de la cintica de oxidacin, utilizando el anlisis de factores.