Propri t s Intrins ques de Nanocristaux D Argent

L'ide premire de ces travaux tait d'valuer la potentialit des rseaux 2D de nanocristaux (NC) d'argent de 5 nm de diamtre comme masques dans les procds de gravure. Ces rseaux ont donc t soumis un plasma d'oxygne gnr dans les procds de Gravure Ionique Ractive. L'analyse des mmes zones avant et aprs plasma dmontre la coexistence de deux comportements rgis par la rgularit de l'arrangement 2D des NC. Les assembles parfaitement arranges restent quasiment intactes, tandis que celles qui prsentent des dfauts d'assemblage sont dtruites. Les NC coalescent alors pour former de plus grandes particules sphriques qui peuvent tre monocristallines. Aucune trace d'oxyde d'argent, ni sur les particules coalesces, ni sur les assembles restes intactes n'est dtecte, mme dans des conditions d'exposition trs corrosives. L'tude, in fine consacre la ractivit des rseaux face au plasma, dmontre une nouvelle proprit intrinsque des NC: l'ordre (la rgularit de l'arrangement) dtermine la stabilit des NC face au plasma d'oxygne. Un mcanisme de coalescence des NC et un mcanisme de formation des deux types de rseaux coexistant sont proposs.