bokomslag Prozetechnologie
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  • 500 sidor
  • 1991
Prozesstechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunachst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturubertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluss daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozess fur die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.
  • Författare: Gnter Schumicki, Peter Seegebrecht
  • Format: Pocket/Paperback
  • ISBN: 9783540176701
  • Språk: Engelska
  • Antal sidor: 500
  • Utgivningsdatum: 1991-03-01
  • Förlag: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K