bokomslag Rapid Thermal Processing of Semiconductors
Vetenskap & teknik

Rapid Thermal Processing of Semiconductors

Victor E Borisenko Peter J Hesketh

Inbunden

3279:-

Funktionen begränsas av dina webbläsarinställningar (t.ex. privat läge).

Uppskattad leveranstid 10-16 arbetsdagar

Fri frakt för medlemmar vid köp för minst 249:-

Andra format:

  • 358 sidor
  • 1997
Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.
  • Författare: Victor E Borisenko, Peter J Hesketh
  • Format: Inbunden
  • ISBN: 9780306450549
  • Språk: Engelska
  • Antal sidor: 358
  • Utgivningsdatum: 1997-05-01
  • Förlag: Kluwer Academic/Plenum Publishers