Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography 1

Kropp & själ

Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography

Name: Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography
Price: 2059 SEK
Availability: OutOfStock
Author: F M Schellenberg
ISBN: 9780819451668

F M Schellenberg

Inbunden

2059:-

Funktionen begränsas av dina webbläsarinställningar (t.ex. privat läge).

Tillfälligt slut online – klicka på "Bevaka" för att få ett mejl så fort varan går att köpa igen.

900 sidor
2004

Optical lithography for integrated circuits is undergoing a renaissance with the adoption of Resolution Enhancement Technology (RET). Some RET concepts have become routine in manufacturing. This volume gathers together seminal RET papers.

Författare: F M Schellenberg
Format: Inbunden
ISBN: 9780819451668
Språk: Engelska
Antal sidor: 900
Utgivningsdatum: 2004-02-01
Förlag: SPIE Press