Sekundarionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dunnschichtsystemen

In zunehmendem Mae wird die Verwendungsmglichkeit vieler technischer Produkte durch die Eigenschaften ihrer Oberflchen bestimmt. Darber hinaus werden durch ge eignete Kombination von Volumen-und
Oberflcheneigenschaften neue technologische Anwendungen geschaffen. Dabei kommt der Verwendung dnner Schichten in vielen Industriebereichen eine immer grer werdende Bedeutung zu. Beispielsweise lt sich die Lebensdauer
von Werkzeugen durch das Aufbringen extrem harter Nitridschichten vergrern. Die Korrosionsbestndigkeit metallischer Produkte kann in vielen Bereichen der metallverarbeitenden Industrie durch die Ver wendung dnner
Passivierungsschichten erhht werden. Die Miniaturisierung von in tegrierten Schaltungen wre ohne die Entwicklung der Dnnschichttechnologie nicht vorstellbar. Mit aus dnnen Schichten aufgebauten Beschichtungen lassen sich
die Reflexions-oder Transmissionseigenschaften optischer Bauelemente gezielt beeinflus sen. Die Verwendung solcher Schichtsysteme setzt dabei nicht nur eine detaillierte Kenntnis der neu entstandenen Oberflchen und
Grenzflchen sowie der Zusammen setzung und Struktur aufgebrachter Schichten, die sich je nach Herstellungsverfahren deutlich von denen der kompakten Materialien unterscheiden knnen, voraus. Es mu ferner ihre Herstellung
oder gezielte Modifikation in jedem Schritt kontrollierbar sein, um Probleme wie mangelnde Haftung, Konzentrationsabweichungen oder Kontamina tionen zu vermeiden.