tude d''un Micro-Gyrom tre Deux Axes Poutre Vibrante En Silicium

Les travaux prsents ont pour but l'optimisation et la ralisation d'un gyromtre micro-usin poutre vibrante sur substrat silicium. Ces travaux s'inscrivent dans la continuit de thses prcdemment effectues FEMTO-ST et consacres au dveloppement de structures en toile. Cette configuration est approprie la ralisation de mesures de vitesse angulaire dans le plan du substrat. Le projet de recherche propose une volution du gyromtre silicium avec passage d'une dtection capacitive une dtection optique. C'est pourquoi le mmoire propose naturellement un redimensionnement en profondeur du capteur. Ainsi, un nombre important d'tudes par lments finis ont t ralises pour optimiser la structure vibrante. Des tudes lectromcaniques ont permis de comprendre en dtail les spcificits rsultant du choix de l'excitation capacitive. Ces travaux ont conduit l'laboration d'une structure optimise, et une redfinition des procds de fabrication. Plusieurs capteurs ont t ralises, validant le design et son process. Le recours une sonde htrodyne a ensuite permis de mesurer les dplacements hors-plan en fonction du signal d'excitation.