Untersuchungen der thermischen Entgasung von Metallen im Ultrahochvakuum mit Hilfe eines Omegatron-Partialdruckvakuummeters

Die Entwicklung der Ultra-Hoch-Vakuumtechnik hat gezeigt, da fr die Er 8 zielung von Drucken< 10- Torr die Gasabgabe der Wnde eines Vakuum systems von besonderer Bedeutung ist. Bei den heute blichen
Laboreinheiten werden die Apparaturen so ausgelegt, da das eigentliche UHV-System bis 0 450 C ausgeheizt werden kann, um bei den normalerweise zur Verfgung stehenden kleinen Sauggeschwindigkeiten die Gasabgabe der Wnde zu
redu zieren. Da fr den Aufbau experimenteller Anordnungen im UHV eine Reihe von Metallen gebraucht werden, deren Temperatur in der Vakuumkammer in weiten Grenzen variieren kann, soll in der vorliegenden Arbeit die Gasabgabe
von Metallproben, die einem normalen Ausheizproze unterzogen wurden, in Abhngigkeit von der Temperatur untersucht werden. Der Totaldruck ist fr die dabei auftretenden Prozesse nur eine qualitative Megre. Um quantitative
Resultate zu erzielen, wurden die Untersuchungen mit einem Omegatron-Massen spektrometer durchgefhrt. Damit ergeben sich als wesentliche Teile der Arbeit Die Partialdruckeichung des Omegatrans Die Messung der Gasabgabe von
Metallen 7 2. Die Partialdruckeichung des Omegatrons 2. 1 Das System Das Omegatron ist eine Anordnung, die es gestattet, die Zyklotron-Resonanz frequenz eB W- m von Ionen in einem Magnetfeld zu messen. Ursprnglich wurde es
von SOMMER, THOMAS und HIPPLE [1] zur Messung des magnetischen Moments des Protons eingesetzt. ALPERT [2] bentzte eine vereinfachte Ausfhrung zur Restgas analyse in UHV-Systemen. Seither sind eine Reihe von
Verffentlichungen er schienen, die zeigen, das ein besonderes Interesse in der Vakuummetechnik an einem kleinen ausheizbaren Partialdruckmegert besteht [3 bis 36].