Vetenskap & teknik
Vakuumbeschichtung
Gerard Kienel • Klaus Rvll • Klaus Rc6ll • Klaus Rall
Inbunden
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Schwerpunkte in Band 2 bilden das Aufdampfen im Hochvakuum, das Ionenplattieren, die KathodenzerstAubung, teilchengestA1/4tzte Verfahren, die Erzeugung von Mikrostrukturen, Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD).
- Format: Inbunden
- ISBN: 9783540622666
- Språk: Engelska
- Antal sidor: 500
- Utgivningsdatum: 1997-02-01
- Förlag: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K