Vetenskap & teknik
Pocket
Vakuumno-Plazmennye Protsessy Obrabotki Kvartsa
Vetoshkin Vladimir • Krylov Petr
1069:-
Uppskattad leveranstid 7-11 arbetsdagar
Fri frakt för medlemmar vid köp för minst 249:-
V rabote opisana novaya konstruktsiya i skhema raspolozheniya katodnogo i anodnogo uzlov razrabotannoy ustanovki ionno-plazmennogo travleniya mikrostruktur so skaniruemym VCh - magnetronom, obespechivayushchie vysokie skorosti ionnogo i reaktivno-ionnogo travleniya razlichnykh materialov. Opredeleny i opisany optimal'nye rezhimy travleniya kvartsa. Vpervye predlozheno ustroystvo dlya utilizatsii khlorsoderzhashchikh gazov i (ili) izmeneniya sostava rabochego gaza. Opredeleny optimal'nye rezhimy protsessov reaktivnogo ionno-luchevogo travleniya kvartsa v razlichnykh khlorsoderzhashchikh gazakh. Issledovany vozmozhnosti ispol'zovaniya tverdotel'nogo istochnika ftora dlya ionno-luchevogo travleniya kvartsa. Opredeleny optimal'nye rezhimy ionno-luchevykh i ionno-plazmennykh protsessov polirovki kvartsa.
- Format: Pocket/Paperback
- ISBN: 9783844352887
- Språk: Engelska
- Antal sidor: 144
- Utgivningsdatum: 2011-06-15
- Förlag: LAP Lambert Academic Publishing