Verfahren zur Prfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen fr hochreine Flssigkeiten

Das Ziel dieser Arbeit war die Entwicklung von Prfverfahren, mit denen Komponenten von Versorgungssystemen hinsichtlich ihres Kontaminationsverhaltens beurteilt und enthaltene Partikelquellen ergrndet werden knnen. Aufbauend auf dem Stand der Technik erfolgt eine theoretische Analyse der Ursachen und Mechanismen des Partikeleintrags in Flssigkeiten von den Wandungen der Versorgungssysteme. Daraus lassen sich die mglichen Partikelquellen in Versorgungskomponenten zusammenstellen und die verfgbaren Metechniken fr Partikel in Flssigkeiten kritisch beurteilen. Auf der Basis dieser Analysen werden die prfbaren Parameter ermittelt und die entsprechenden Anforderungen an die Prfungsverfahren formuliert. Aus den gesammelten Erfahrungen bei praktischen Kontaminationsuntersuchungen wird ein Universalprfstand fr smtliche Prfungen konzipiert und entwickelt. Die Untersuchungen liefern eine Reihe grundlegender Ergebnisse. Es werden daraus u.a. der optimierte Einsatz der Partikelmegerte, gnstige und ungnstige Konstruktionsmerkmale von Ventilen, Einflsse auf das Filterabscheideverhalten und das Gesamtverhalten von Versorgungssystemen abgeleitet. Die Eignung der entwickelten Prfverfahren fr umfassende Untersuchungen an Versorgungssystemen findet ihren Niederschlag in einer Formulierung von Richtlinien zur Durchfhrung derartiger Untersuchungen.