Herstellung von Gitterstrukturen mit Aspektverhaltnis 100 fur die Phasenkontrastbildgebung in einem Talbot-Interferometer

Fr Objekte mit sehr hnlichen Absorptionskoeffizienten, wie gesundes und karzinogenes Gewebe liefert der Absorptionskontrast hufig unzureichende Informationen. Eine vielversprechende Methode einer kontrastreichen Bildgebung bietet jedoch die Phasenkontrast Bildgebung in einem Talbot-Interferometer. Hierfr werden Gitter mit hohen Aspektverhltnissen bentigt. Im Rahmen dieses Buchs wird der LIGAProzess genutzt, um erstmalig Gitter mit einem Aspektverhltnis von mindestens 100 herzustellen.