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Die dritte Auflage des mittlerweile zum Standardwerk gereiften Lehrbuchs trgt den rasanten Entwicklungen in diesem interdisziplinren Gebiet umfassend Rechnung. Insbesondere die Kapitel Siliziumtechnik, Materialien und Alternative Technologien wurden stark erweitert. Auerdem sind neue Anwendungsaspekte hinzugekommen. Somit schlgt dieses Lehrbuch weiterhin in einzigartiger Weise den Bogen von den Grundlagen der Mikrosystemtechnik bis hin zu den aktuellen Anwendungen in einer Vielzahl von High-Tech Entwicklungen.
- Illustratör: 15 Tab 250 Abb
- Format: Pocket/Paperback
- ISBN: 9783527305360
- Språk: Tyska
- Antal sidor: 590
- Utgivningsdatum: 2005-06-01
- Förlag: Blackwell Verlag GmbH