Procedes plasmas pour le management thermique microelectronique

Ces travaux sont axs sur la mise au point d'un procd de synthse de couches minces basse temprature d'un matriaux dilectrique forte conductivit thermique pour la passivation de semi conducteur. Cette ouvrage s'articule d'une part sur la prsentation de l'tat des connaissance dans les domaines des matriaux dilectriques cristallins ainsi que des procds plasma et d'autre part sur la prsentation des mthodes permettant une comprhension fine des proprits intrinsque des matriaux quel soit structural ou thermique. La seconde partie de cette ouvrage est constitu des tudes menes lors de mon doctorat au laboratoire Jean Rouxel de l'universit de Nantes qui s'appuie principalement lies les domaines des procds et des matriaux afin d'en optimiser les proprits.