Simulation und Herstellung siliziumbasierter integriert-optischer Sternkoppler

Diplomarbeit aus dem Jahr 1996 im Fachbereich Ingenieurwissenschaften - Nachrichtentechnik / Kommunikationstechnik, Note: 1,0, Technische Universitt Dortmund (Unbekannt), Sprache: Deutsch, Abstract: Inhaltsangabe:Einleitung:
Die optische Nachrichtentechnik gewinnt in der Telekommunikation mit dem wachsenden Bedarf an hohen bertragungsraten und der Globalisierung der Informationsverarbeitung an Bedeutung. Die Bauteile der integrierten Optik sind aufgrund ihrer Anwendungsmglichkeiten innerhalb der optischen Nachrichtentechnik von groem Interesse, da bei Verteilungs- und Schaltfunktionen auf die Umwandlung in elektrische Signale verzichtet werden kann.
Das im Rahmen dieser Diplomarbeit betrachtete Bauteil, der passive optische Sternkoppler, findet vorwiegend in lokalen Netzen seine Anwendung.
Die hierbei verwendbaren Materialien mssen gewhrleisten, dass die Lichtwellenleiter geringe bertragungsverluste durch Dmpfung und Dispersion besitzen und reproduzierbar herzustellen sind. Die Mglichkeit der Kopplung an andere optische Komponenten wie Glasfasern, Lichtquellen und Photodetektoren ist ebenso wichtig. Diese Forderungen erfllen verschiedene Substratmaterialien wie z. B. Glas, Polymere und nicht zuletzt Silizium.
Die Herstellung des Sternkopplers auf Siliziumsubstrat hat verschiedene Vorteile. Standardsiliziumwafer besitzen eine qualitativ hochwertige Oberflche und sind deshalb ein geeignetes Substrat fr optische Wellenleiter. Die Siliziumtechnologie ist gut erforscht und zur Abscheidung und Strukturierung der Lichtwellenleiterschichten kann auf Verfahren der Halbleitertechnologie zurckgegriffen werden. Ein weiterer Vorteil ist das einfach herzustellende, arteigene Oxid des Siliziums mit guten optischen Eigenschaften.
Aufgrund des groen finanziellen und zeitlichen Aufwandes ist es sinnvoll, vor der technologischen Realisierung eine simulatorische Opitimierung durchzufhren. Aus diesem Grund teilt sich diese Diplomarbeit zu etwa gleichen Teilen in einen sim