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Behandelt werden Messungen an dA1/4nnen Schichten wAhrend und nach der Beschichtung, SchichtdickenmeAverfahren, Verfahren der DA1/4nnschichtanalyse sowie die Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.
- Format: Inbunden
- ISBN: 9783540622697
- Språk: Engelska
- Antal sidor: 384
- Utgivningsdatum: 1997-02-01
- Förlag: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K