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Behandelt werden Messungen an dunnen Schichten wahrend und nach der Beschichtung, Schichtdickenmessverfahren, Verfahren der Dunnschichtanalyse sowie die Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.
- Format: Pocket/Paperback
- ISBN: 9783642635113
- Språk: Engelska
- Antal sidor: 368
- Utgivningsdatum: 2012-10-30
- Förlag: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K