Wlaściwości elektryczne i mechaniczne cienkich warstw mezoporowatej krzemionki

Cienkie warstwy mezoporowatej krzemionki (MPS) s atrakcyjne do zastosowania jako nisko- dielektryk midzywarstwowy (ILD) w ukadach scalonych. Jednake folie te s podatne na niestabilnoci w zachowaniu elektrycznym spowodowane absorpcj wody i dyfuzj miedzi. W niniejszej pracy omwiono niestabilnoci elektryczne, chemiczne i termiczne, dyfuzj Cu oraz adhezj tych materiaw w celu oceny i umoliwienia ich wykorzystania w przyszoci jako ILD w okablowaniu urzdze. Stabilno termiczna grup funkcyjnych i adhezja tych filmw z Cu s rwnie kluczowymi pytaniami dla integracji tych dielektrykw w rzeczywistych urzdzeniach. Staramy si odpowiedzie na te pytania dla kilku rodzajw funkcjonalnych folii MPS. Struktura porw jest kolejnym kluczowym parametrem w definiowaniu mechanicznych i elektrycznych waciwoci folii MPS. W niniejszej pracy do wikszoci bada wykorzystalimy folie MPS o porach w ksztacie kostki 3D. Rnice we waciwociach folii MPS z porami zorientowanymi rwnolegle do podoa (2D-heksagonalne) i folii MPS z porami o ksztacie szeciennym (3D-kubiczne) s omwione pod koniec pracy. Podsumowujc, praca ta pokazuje moliwoci dostosowania waciwoci elektrycznych i mechanicznych dielektrykw MPS o niskim wspczynniku do przyszych zastosowa.