Spectroscopie T rahertz

Nous prsentons des tudes sur la spectroscopie trahertz des matriaux en films minces dont les paisseurs sont infrieures la longueur d'onde trahertz. Pour obtenir la sensibilit ncessaire, nous mettons en uvre des techniques de renforcement du champ lectromagntique au voisinage du film mince, grce l'excitation de rsonances lectromagntiques. Aprs une introduction, dans la 2me et la 3me parties de ce travail, nous prsentons un tat de l'art des mthodes de caractrisation, ainsi que la technique exprimentale employe. Dans la quatrime partie, nous tudions comme dispositif de renforcement lectromagntique un guide d'onde en silicium sur lequel est grav un rseau de couplage. Nous avons pu dterminer avec prcision les paramtres dilectriques de films minces. Nous indiquons comment optimiser ce dispositif pour mesurer des films submicroniques. Dans la dernire partie de ce travail, nous tudions les proprits lectromagntiques d'un rseau mtallique deux dimensions. Nous montrons qu'un tel dispositif permet de caractriser un film mince pos sur une de ses faces, mais peut aussi servir de filtre spectral pour les ondes trahertz.