Prparation lateral strukturierter magnetischer Schichten mittels Laser-Interferenz-Lithographie

Diplomarbeit aus dem Jahr 1997 im Fachbereich Physik - Sonstiges, Note: 1,0, Technische Universitt Kaiserslautern (Unbekannt), Sprache: Deutsch, Abstract: Inhaltsangabe:Einleitung:
Das Studium der Eigenschaften von nanostrukturierten magnetischen Filmen hat in den letzten Jahren ein zunehmendes Interesse erfahren, vor allem im Hinblick auf knftige neue Anwendungen in Form magnetischer Speicher oder Sensoren. Ein Ziel ist die Verkleinerung der Lesekpfe von Festplatten, bei denen zur Zeit Flchen mit mehreren Mikrometern Ausdehnung zur Speicherung eines Bits beschrieben werden mssen. Das Volumen der weltweit ausgelieferten magnetischen Festplatten-Speicherkapazitt steigt um ca. 40 % jhrlich, alle drei Jahre verdoppelt sich die Speicherdichte [Si95]. Ein neues Konzept zum Erzielen hherer Speicherdichten ist etwa die von Chou et al. vorgeschlagene sogenannte "Quantendisk", bei der jedes Bit durch eine separate Einzeldomne reprsentiert wird. Die Definition der Bitpositionen schon beim Herstellungsproze wrde neben dem Vorteil kleinerer Schreib-/Lesekpfe deren przisere Positionierung erlauben und wrde den Einflu durch Nachbarbits wegen des nichtmagnetischen Materials zwischen diesen 1-Bit-Inseln reduzieren. Eine weitere zentrale Anwendung werden MRAMs sein (magnetisches Random-Access-Memory), deren Entwicklung jetzt von mehreren fhrenden Herstellern magnetischer Speicher intensiv in Angriff genommen wird. Fr eine weitere Verkleinerung der Strukturen mssen jedoch zunchst detaillierte Untersuchungen verschiedenster Probengeometrien und der dabei neu auftretenden Phnomene durchgefhrt werden, wobei periodische Strukturen niedriger Dimensionalitt mit Ausdehnungen von etwa 5 pm bis hinunter zu atomaren Grenordnungen von Interesse sind. Neben Drhten (Streifen) und Inseln (kleinen scheibenfrmigen Flchen) werden dabei auch gezielt Probenbereiche mit ferromagnetischen Sulen oder mit kurzen Streifen hergestellt, wodurch sich definierte Magnetisierungsricht