bokomslag Vakuumbeschichtung
Samhälle & debatt

Vakuumbeschichtung

Gerard Kienel Klaus Rll

Pocket

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  • 481 sidor
  • 2012
Schwerpunkte in Band 2 bilden das Aufdampfen im Hochvakuum, das Ionenplattieren, die Kathodenzerstaubung, teilchengestutzte Verfahren, die Erzeugung von Mikrostrukturen, Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD).
  • Författare: Gerard Kienel, Klaus Rll
  • Format: Pocket/Paperback
  • ISBN: 9783642633980
  • Språk: Engelska
  • Antal sidor: 481
  • Utgivningsdatum: 2012-10-14
  • Förlag: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K