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Schwerpunkte in Band 2 bilden das Aufdampfen im Hochvakuum, das Ionenplattieren, die Kathodenzerstaubung, teilchengestutzte Verfahren, die Erzeugung von Mikrostrukturen, Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD).
- Format: Pocket/Paperback
- ISBN: 9783642633980
- Språk: Engelska
- Antal sidor: 481
- Utgivningsdatum: 2012-10-14
- Förlag: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K